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過程測量、控制和數(shù)據(jù)記錄的可持續(xù)解決方案TPG36x有 源真空計(jì)控制器與各種INFICON有源真空計(jì)兼容，能夠監(jiān) 測和記錄整個壓力范圍（10-10至1500毫巴（10-10至1125托）和設(shè)定點(diǎn)狀態(tài)。

INFICON倒置磁控管真空計(jì)MAG470的測量范圍為5×10-11毫巴至1×10-2毫巴（3.8×10-11Torr至7.5×10-3Torr）。

NFICON PBR 260是一種組合式真空計(jì)，在一個緊湊 的單一位置上作為兩個真空計(jì)運(yùn)行。主要的測量原理是 根據(jù)Bayard-Alpert原理的熱陰極真空計(jì)，該真空計(jì)將由一個鉑熱傳導(dǎo)測量原理完成和支持。

TripleGauge®BCG552將3個真空傳感元件組合在一個傳感器中。這款新TrigonTM系列的旗艦產(chǎn)品提供了從UHV（5x10-10）到大氣壓（1500毫巴）的極寬測量范圍。BCG552配備有額外ATM傳感器預(yù)設(shè)計(jì)用于壓差測量，并在多種應(yīng)用 中 用 作 真 空 開 關(guān) 。

Bayard-Alpert熱電離真空計(jì)TrigonTM BAG552對于需要獨(dú)立熱電離計(jì)技術(shù)的應(yīng)用，TrigonTM系列包含單 一技術(shù)Bayard-Alpert熱電離計(jì)BAG552。BAG552設(shè)計(jì)用 于壓力范圍為5×10-10 ... 2×10-2毫巴。支持的雙燈絲提 供了zhuoyue的精度、可重復(fù)性和壽命。

新型INFICON皮拉尼壓電組合真空計(jì)（PPG550）基于*的MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器技術(shù)。在MEMS工 藝中小型化的皮拉尼/壓電組合技術(shù)能夠構(gòu)建非常小且節(jié)省空間的傳感器。皮拉尼基于MEMS技術(shù)，在低真空范 圍內(nèi)比經(jīng)典皮拉尼測量得更深、更準(zhǔn)確。