SQC-310系列高精度順序沉積或共沉積控制儀

憑借技術(shù)、增強(qiáng)的顯示和實(shí)惠的價(jià)格，INFICON SQC-310 系列提供同類(lèi)薄膜控制器無(wú)法企及的優(yōu)勢(shì)。您可以為自己的應(yīng)用選擇理想的型號(hào)：連續(xù)沉積 （SQC-310） 或共沉積 （SQC-310C）。

功能

• 明亮的彩色 LCD 顯示屏 - 提供英文或中文版本

• 標(biāo)準(zhǔn) RS-232 和 USB（可選 RS-232 和以太網(wǎng)）

• 設(shè)有 “Quick Setup"（快速設(shè)定）菜單、6 個(gè)區(qū)分上下文按鈕以及一個(gè)簡(jiǎn)便的參數(shù)設(shè)定旋鈕，易于設(shè)定和操作

• 用于開(kāi)發(fā)、測(cè)試和下載過(guò)程的 Windows^®程序，以及用于將儀器數(shù)據(jù)記錄到 PC 進(jìn)行過(guò)程分析與質(zhì)量控制的 Windows 程序

• 精確的過(guò)程控制，尤其適用于低沉積速率，測(cè)量速率為每秒 10 個(gè)讀數(shù)，測(cè)量分辨率為 ±0.03 Hz

• 存儲(chǔ)容量可達(dá) 100 個(gè)過(guò)程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料

• 使用單傳感器或多傳感器監(jiān)控源材料，提供精確的源分布監(jiān)控