從工作原理到場(chǎng)景應(yīng)用，帶你認(rèn)識(shí)APC鐘擺閥

更新時(shí)間：2025-07-14 點(diǎn)擊次數(shù)：503

從工作原理到場(chǎng)景應(yīng)用，帶你認(rèn)識(shí)APC鐘擺閥

真空鐘擺閥是一種通過圓形閥板做 “鐘擺式擺動(dòng)" 實(shí)現(xiàn)真空隔離/流量控制的閥門，一般作為大口徑節(jié)流閥安裝在真空腔體和渦輪分子泵入口之間，通常應(yīng)用于FPD、SEMI、Solar和PV行業(yè)的真空鍍膜系統(tǒng)。

鐘擺閥安裝位置-真空泵與工藝腔之間

目前的鐘擺閥設(shè)計(jì)均采用鍍鎳或硬質(zhì)陽(yáng)極氧化工藝來防腐蝕和減少灰塵，考慮到擺閥尺寸巨大，閥體大多采用鋁制金屬以減少重量和制造成本，可在氣動(dòng)或APC模式下運(yùn)行，其中APC鐘擺閥可以實(shí)現(xiàn)真空隔離的同時(shí)，也能實(shí)現(xiàn)中下游端的精準(zhǔn)壓力控制。

氣動(dòng)鐘擺閥 APC壓力控制鐘擺閥

-日揚(yáng)APC鐘擺閥-

• 設(shè)計(jì)緊湊，振動(dòng)小，啟閉運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)

• 抗腐蝕，低粉塵，精準(zhǔn)的壓力控制

• 可定制尺寸，最大可達(dá)ISO500

• 模塊化設(shè)計(jì)，易于拆卸方便維護(hù)

• 控制精度可達(dá)最大量程的0.1%

APC控制擺閥可以在真空系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)高效、穩(wěn)定的壓力控制，憑借其低污染、快響應(yīng)、易維護(hù)等特點(diǎn)，已成為高精密真空系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置。日揚(yáng)已為不同行業(yè)客戶定制研發(fā)多款A(yù)PC鐘擺閥，適配越來越復(fù)雜的真空工藝需求，成功實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)代替。

—APC鐘擺閥展出現(xiàn)場(chǎng)—

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從工作原理到場(chǎng)景應(yīng)用，帶你認(rèn)識(shí)APC鐘擺閥