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隨著半導(dǎo)體器件特征尺寸的不斷縮小，等離子體工藝中的電弧放電問(wèn)題日益突出。微小的電弧不僅可能損壞設(shè)備，還會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷，甚至造成生產(chǎn)中斷。如何實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子體狀態(tài)和晶圓蝕刻程度，快速檢測(cè)電弧并優(yōu)化工藝，成為半導(dǎo)體制造中的一大挑戰(zhàn)。
英福康射頻傳感技術(shù)提供了強(qiáng)大的解決方案：Sion™射頻探測(cè)器，提供連續(xù)反饋，確保精確的端點(diǎn)檢測(cè)，避免過(guò)度蝕刻和材料浪費(fèi)；ADC100電弧檢測(cè)器，擁有zhuoyue的電弧檢測(cè)技術(shù)，在維護(hù)生產(chǎn)效率的同時(shí)保護(hù)設(shè)備；協(xié)力幫助客戶提升生產(chǎn)效率、減少停機(jī)時(shí)間，并確保產(chǎn)品質(zhì)量。
Sion™：等離子體工藝的“實(shí)時(shí)衛(wèi)士"
Sion™是一款非侵入式射頻探測(cè)器，專為高速電弧檢測(cè)和工藝終點(diǎn)控制設(shè)計(jì)。它適用于多種等離子體輔助工藝，如電離物理氣相沉積 (iPVD)、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD) 和蝕刻工藝，能夠?qū)崟r(shí)檢測(cè)電弧工藝，確保工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品良率。
Sion™的核心優(yōu)勢(shì)在于：
實(shí)時(shí)電弧檢測(cè)：以高達(dá)250 kHz的數(shù)據(jù)采集頻率，快速捕捉微電弧事件，防止對(duì)靶材、腔室和基材造成損害。
非侵入式安裝：采用卡箍式設(shè)計(jì)，可輕松集成到現(xiàn)有工具箱中。
智能數(shù)據(jù)分析：與FabGuard數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)無(wú)縫集成，提供全面的數(shù)據(jù)管理和分析功能，幫助優(yōu)化工藝參數(shù)。
ADC100：直流電弧的“高速捕手"
ADC100同樣是一款非侵入式的高速直流電弧檢測(cè)設(shè)備，通過(guò)連接DC供電系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子體中的電弧事件，并在出現(xiàn)問(wèn)題時(shí)迅速中斷晶圓生產(chǎn)過(guò)程，防止硬件或產(chǎn)品損壞。
ADC100的亮點(diǎn)功能包括：
高速響應(yīng)：每個(gè)通道的數(shù)據(jù)采集頻率高達(dá)250 kHz，確保對(duì)電弧事件的快速檢測(cè)和響應(yīng)；其內(nèi)配置的預(yù)定義分析工具也能確保檢測(cè)效率。
終點(diǎn)檢測(cè)功能：不僅能夠檢測(cè)電弧，還能優(yōu)化工藝終點(diǎn)控制，減少過(guò)度蝕刻和材料浪費(fèi)。
全球技術(shù)支持：英?？堤峁┤蚍秶募夹g(shù)支持，確保ADC100在不同地區(qū)的應(yīng)用中都能發(fā)揮最佳性能。
智能數(shù)據(jù)分析：與FabGuard數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)無(wú)縫集成，提供全面的數(shù)據(jù)管理和分析功能，幫助優(yōu)化工藝參數(shù)。
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