英福康殘余氣體分析儀是可靠的殘余氣體分析儀(RGA),擁有為氣體分析,檢漏和污染檢測(cè)所需的高性能和低價(jià)格.這種簡(jiǎn)單易用的RGA具有業(yè)界的非常小的可檢測(cè)分壓強(qiáng)(MDPP),信噪比和數(shù)據(jù)收集速度.該氣體分析儀提供了低總體擁有成本和高平均故障間隔時(shí)間(MTBFs)的經(jīng)濟(jì)而有效的解決方案。
英?？禋堄鄽怏w分析儀的功能：
1.應(yīng)用于ALD、蝕刻、CVD，對(duì)殘余氣體進(jìn)行過程監(jiān)測(cè)和分析
2.測(cè)量速度為每點(diǎn)1.8ms（每秒555點(diǎn)）
3.在大多數(shù)苛刻CVD和蝕刻應(yīng)用中，展現(xiàn)出經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的耐久性和可靠性
4.應(yīng)用集成—TranspectorCPM集成FabGuard軟件，由INFICON提供支持，是一款強(qiáng)大的過程監(jiān)測(cè)與診斷工具
5.緊湊尺寸—允許輕松集成到半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
6.Hexblock™含三個(gè)壓力進(jìn)口并減少表面積，以小化表面反應(yīng)時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間
7.電容隔膜計(jì)(CDG)—CDG允許用戶監(jiān)測(cè)過程壓力，并自動(dòng)保護(hù)系統(tǒng)不出現(xiàn)壓力偏移
8.自動(dòng)校準(zhǔn)—確保長(zhǎng)期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性和精度，以便進(jìn)行各傳感器和工具的腔室匹配
英福康殘余氣體分析儀用于myRGA傳感器的現(xiàn)代化離子源設(shè)計(jì)將兩根燈絲集成在陽(yáng)極,陰極和反射極的組裝件中.雙燈絲設(shè)計(jì)中包含一根可使RGA具有較大上線時(shí)間的備用燈絲.使用myRGA,還可獲得特定應(yīng)用的燈絲選擇(鎢絲用于含鹵素的過程或涂敷氧化釔的銥燈絲用于含氧的過程),確保過程本身不會(huì)縮短燈絲的壽命.更換myRGA中的燈絲套件相當(dāng)于更換傳統(tǒng)RGAs的整個(gè)離子源,節(jié)約成本,從而大大地降低總體擁有成本.
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