INFICON電容薄膜規(guī)的特點(diǎn)：
1、以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎(chǔ)構(gòu)成
2、在嚴(yán)酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強(qiáng)測(cè)量
3、快速的預(yù)熱和恢復(fù)時(shí)間,提高生產(chǎn)率
4、的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復(fù)性
5、由于電子學(xué)直接安裝在傳感器上,改進(jìn)了溫度補(bǔ)償和EMC兼容性
6、對(duì)環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測(cè)量更穩(wěn)定
7、快速預(yù)熱在開機(jī)的一分鐘內(nèi)達(dá)到快速穩(wěn)定和進(jìn)入 準(zhǔn)備使用狀態(tài)
8、一鍵按鈕: 調(diào)零功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整
9、抗腐蝕超純陶瓷傳感器
10、能經(jīng)受數(shù)百萬(wàn)次壓強(qiáng)循環(huán)周期,包括大氣壓 沖擊,無(wú)任何降低性能的跡象
11、暴露大氣壓后快速恢復(fù),無(wú)需隔離閥
12、對(duì)蒸氣介質(zhì)不敏感
13、傳感器屏蔽 ()延長(zhǎng)真空計(jì)在污染的工藝過(guò)程中的使用壽命
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