INFICON皮拉尼真空計的特點概要

一、 兩種類型的皮拉尼規(guī)

1、 穩(wěn)定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICON PSG500）

2、 穩(wěn)定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規(guī)）

二、 皮拉尼真空計具體型號

· PSG050/051

· PSG100-S   PSG101-S

· PSG500/500-S   PSG502

· 皮拉尼電容膜片復合真空計PCG400  PCG410  PCG550

1）有皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起

2）兩種原理的規(guī)管全過程都工作

3）100 mbar—1000 mbar 使用薄膜規(guī)信號

4）1 mbar– 100mbar 兩規(guī)信號同時采用

5）5x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信號

6）輸出的真空度信號（電壓）連續(xù)，無跳躍

三、皮拉尼真空計應用行業(yè)

1）各種高真空泵的前級壓力測量，如光伏、鍍膜、等離子行業(yè)

2） 各種中低真空測量，如照明，冶金

3）真空連鎖控制，高真空計的點火開關控制，如PEG100

4） PSG050可*替代TR211，PSG051可*替代TR216

5）PCG400/PCG410現(xiàn)在已升級為PCG550（PCG400/PCG410已經(jīng)停產(chǎn)），與PSG500 基本相同，但彌補了皮拉尼規(guī)大氣測量段精度不足的弱點，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍寶石爐上廣泛應用 

6）PSG100/ PSG101，與PSG500/PSG050基本相同，但前者具有通訊協(xié)議功能，在大系統(tǒng)中應用廣泛  

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