所有設(shè)備真空腔體的真空度檢測(cè)主要是用真空規(guī)，一般前級(jí)真空一個(gè)，本底和工藝監(jiān)控各一個(gè)，如果進(jìn)口的真空計(jì)，皮拉尼、熱電離規(guī)、電容薄膜規(guī)等，中國(guó)的真空設(shè)備廠家中，使用廣泛的進(jìn)口真空測(cè)量產(chǎn)品是深圳市科銳詩汀代理的瑞士英?？担?span>INFICON）的真空計(jì)及控制器。

但是困擾使用者的一個(gè)問題是英?？担?span>INFICON）的真空計(jì)及控制器種類繁多，型號(hào)規(guī)格貌似沒有規(guī)律，很難記憶，今天我們就嘗試著解開這個(gè)困擾。

真空計(jì)從原理上劃分很多種類，還有一些復(fù)合真空計(jì)，從大類上就可以分十幾種，加上測(cè)量寬度和精度的不同排列組合，可以細(xì)分成幾十種，根據(jù)實(shí)際應(yīng)用可能會(huì)構(gòu)成多種選型，的確會(huì)讓不熟悉的人頭疼不已，不過，英福康（INFICON）的真空計(jì)的命名還是有規(guī)律可循的：

• 命名由三段組成：3個(gè)英文字母+3個(gè)阿拉伯?dāng)?shù)字+英文和數(shù)字的后綴
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• 以真空計(jì)的原理或原理命名者的英文單詞首字母組合來命名
• Capacitance Diaphragm Gauge）就是CDG
• 型真空計(jì)（Bayard Alpert Gauge）就是BAG
• Pirani Standard Gauge）就是PSG
• Vacuum Gauge Controller）就是VGC
•  兩種原理復(fù)合真空計(jì)以真空計(jì)的兩種原理或原理命名者的英文單詞首字母+真空規(guī)的英文首字母G組合來命名

B-A 型皮拉尼真空計(jì)（Bayard-Alpert Pirani Gauge）就是BPG

• Pirani Capacitance diaphragm Gauge）就是PCG
• Magnetron Pirani Gauge）就是MPG

• 三種或以上原理復(fù)合真空計(jì)多以更重要的兩種原理或原理命名者的英文單詞首字母+真空規(guī)的英文首字母G組合來命名

B-A 型皮拉尼電容膜片真空計(jì)（Bayard-Alpert Pirani Capacitance diaphragm Gauge）就是BCG

• 有特殊功能的真空計(jì)以該功能的英文單詞首字母+真空計(jì)的原理或原理命名者的英文單詞首字母+真空規(guī)的英文首字母G組合來命名
• High Pressure Hot Ionization Pirani Gauge）就是HPG
• 增強(qiáng)型（Enhance）功能的真空計(jì)則往往把該英文單詞首字母放在后
• Pirani Gauge Enhanced）就是PGE
• 個(gè)別以真空計(jì)的原理或原理命名者的英文單詞只有一個(gè)，就用首兩個(gè)字母+真空規(guī)的英文首字母G組合來命名
• Penning Gauge）就是PEG
• 第二段的三個(gè)數(shù)字和第三段的具體對(duì)應(yīng)什么細(xì)節(jié)/條件/功能就要查產(chǎn)品手冊(cè)了。