干泵的組成及原理：
　　
　　美國ELIVAC的ESCD系列無油渦旋真空泵由泵頭、電機(jī)和機(jī)座構(gòu)成。泵頭含有動、定渦旋盤、曲軸、密封件、風(fēng)扇和泵殼組成。渦旋盤為圓形平面和其上伸出的一條或幾條漸開線螺旋盤壁組成，定渦旋盤與動渦旋盤組成渦旋盤構(gòu)成無油渦旋真空泵的基本抽氣機(jī)構(gòu)。工作過程中動、定渦旋盤互不接觸，依靠相對運(yùn)動形成容積不斷縮小的新月形吸氣腔和壓縮腔，通過吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出，實(shí)現(xiàn)對被抽腔體抽真空。
　　
　　干泵的應(yīng)用領(lǐng)域：
　　
　　真空封裝、存儲。
　　
　　真空爐。
　　
　　排氣臺。
　　
　　烘箱、冷凍干燥
　　
　　氣體回收、再循環(huán)。
　　
　　制冷、空調(diào)管路抽真空。
　　
　　制動、管路抽真空。
　　
　　激光抽真空。
　　
　　分子泵前級。
　　
　　工藝預(yù)抽真空。
　　
　　鍍膜。
　　
　　檢漏。
　　
　　手套箱。
　　
　　質(zhì)譜儀。
　　
　　電子顯微鏡。
　　
　　高能束線、加速器。
　　
　　高真空試驗(yàn)臺。
　　
　　樣品制備。
　　
　　美國ELIVAC的ESCD系列無油渦旋真空泵特點(diǎn)：
　　
　　工作可靠。
　　
　　ESCD系列無油渦旋真空泵在半導(dǎo)體、航空航天、石油化工、食品藥品、電力、能源、環(huán)保、汽車、分析測試儀器等行業(yè)生產(chǎn)線上常年連接運(yùn)行，穩(wěn)定可靠。為各行業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究用戶信賴。
　　
　　性能。
　　
　　對被抽系統(tǒng)無油污染，創(chuàng)造潔凈的真空環(huán)境。
　　
　　噪音低，振動小，溫升低，密封材料性能優(yōu)異、壽命長達(dá)5年，可可耐用。
　　
　　排氣機(jī)構(gòu)部件互不接觸，無摩擦，效率高；沒有返油與水蒸汽，不噴油，節(jié)能環(huán)保。
　　
　　極限壓力低至1Pa以下，可替代油旋片真空泵。
　　
　　性價(jià)比高。
　　
　　價(jià)格合理，節(jié)省采購成本。
　　
　　運(yùn)動件無摩擦能耗低，配件質(zhì)優(yōu)價(jià)廉，服務(wù)及時(shí)可靠，節(jié)省運(yùn)行成本。
　　
　　不需要冷卻水和潤滑油，不需要日常維護(hù)，節(jié)省人工費(fèi)用。